ニコン 次世代半導体露光装置を研究中と報道 マスクなしで露光可能に

ニコンが次世代半導体露光装置を研究中

 ニコンの精機事業の研究開発費は、半導体・フラットパネルディスプレー(FPD)露光装置分野全体では大きな変化がないものの「次世代向けでは、数十億円のレベルで増額になっている」(馬立稔和社長)。

半導体露光装置の次世代向けでは、例えばマスクなしでウエハーに露光できる装置を開発中。基礎開発の段階で製品化には時間がかかるが、マスクサイズにとらわれない大きなサイズのチップを製造できるなどのメリットが見込めるという。

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ニコンが次世代の半導体露光装置の研究開発を進めているという報道がありました。ニコン以外のメーカの動向などの記述もありますので、全文は記事元リンクからご覧ください。

記事によれば、研究開発費は事業全体では変化がないものの、次世代のマスクなしで露光できる装置は開発費を増額して開発しているとしています。

このマスクはたぶんフォトマスクのことで、いわゆる写真のネガフィルムのようなもので、それを通じて半導体に回路図を投影させるというようなことをしています。恐らくですが、このマスクがなくても半導体にパターンを転写することができるということのようですね。

全然これらの分野に詳しくないので、どのような技術なのかわかりませんが、なにやら凄そうですね。

半導体不足で半導体装置メーカにも需要が高まる

新型コロナウィルスでリモートワークが一般的になり一時的にPCやタブレット端末が必要になったり、米中対立で中国の半導体メーカと取引を止めるメーカがでてきたり、PlayStation5やXBOXなどの新型機が発売され半導体がそちらに回されたりなど、半導体不足は様々な理由が発端になっているようです。

しかしその後、さらに悪いことに台湾の水不足でTSMCの生産が限定的になったり、日本の旭化成マイクロシステムやルネサスで工場火災が発生するなどしたことが、さらに追い打ちになっているようですね。今は車にもかなりの半導体が必要になりますが、トヨタやホンダなどでも半導体を調達することができず、生産を一時的に中止する企業もでてきています。

この状態はしばらく続くと見られているので、半導体製造メーカも今後の需要が見込めるということで研究開発を加速させているということだろうと思います。日本ではキヤノン、ニコンもメーカの一つなわけですが、この需要がキヤノンやニコンの追い風になるといいなと思いますね。

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